化学処理エリアで赤外線ヒーターを使用する場合、それが機器にとってどれほど危険かはご存知の通りです。周囲には可燃性の蒸気が漂い、腐食性の物質も存在します。通常の石英管では、こうした状況に対応できません。化学物質の影響で石英管が割れてしまったり、さらに悪いことに、密封不良によってヒーターが発火源になっ...

不安定な化学物質を扱う際の安全対策 水素センサーを作るには、微妙なバランスが必要です。正確な温度制御が求められますが、その場所は通常、火災を引き起こしやすい洗浄剤がある場所です。 このような状況では、普通の赤外線ランプはまるで時限爆弾のようなものです。わずかな火花や石英管の微細なひび割れがあれば、...

ファブ内の熱を正確に把握する方法 スマートファブを実現するためには、まず手動でのサンプリングをやめる必要があります。それは時間がかかり、面倒であり、正直、時代遅れです。10分前のデータではなく、リアルタイムのデータが必要です。 そこで役立つのがIRセンサーです。これにより、ウェーハに触れることなく...