클린룸 내의 트롤리를 안전하게 보호하기 (그리고 웨이퍼를 손상시키지 않기)
클린룸에서는 아주 작은 전기 스파크나 미세한 전류 누설도 결코 사소한 문제가 아닙니다. 그것은 재앙과 같습니다. 단 한 번의 오류로도 수많은 웨이퍼들이 망가질 수 있습니다. 그래서 우리는 가열 요소를 설계할 때, 주변의 전기 시스템에 영향을 주지 않으면서도 온도 변화에 견딜 수 있도록 만듭니다.
왜 모든 히팅 튜브를 검사하는가?
일부 업체들은 “샘플 검사”만을 실시합니다. 즉, 10개 중 1개만 검사하여 최선을 기대하는 것입니다.
하지만 우리는 그렇게 하지 않습니다.
우리가 생산하는 모든 히팅 튜브는 공장을 떠나기 전에 반드시 완전한 내전압 테스트와 절연 저항 테스트를 거칩니다.
그 이유는 다음과 같습니다. 트롤리 내의 히터들은 매우 민감한 센서들이 들어 있는 복잡한 구조 안에 위치해 있습니다. 절연체에 아주 작은 균열이 생기거나 납땜 부위에 문제가 있다면, 전류가 트롤리의 프레임으로 새어 들어갈 수 있습니다. 이러한 문제는 클린룸에서 전선을 연결할 때까지는 알아차리기 어렵습니다. 우리는 여기서 미리 이런 문제들을 발견하여 고객이 그곳에서 문제를 겪지 않도록 합니다.
열과 누설 문제 해결하기
고출력 히터들은 매우 뜨거워집니다. 계속해서 가열되고 냉각되는 과정에서 재료들이 팽창하고 수축합니다. 시간이 지나면서 절연체에 많은 스트레스가 가해집니다. 이를 방지하기 위해, 우리는 극한의 온도에서도 절연 성능을 유지할 수 있는 재료를 사용합니다.
하지만 문제가 있습니다. 우리의 히팅 튜브는 매우 튼튼하지만, 잘못된 설치로 인한 문제는 해결할 수 없습니다. 만약 전선의 질이 나쁘거나 트롤리의 프레임이 제대로 접지되어 있지 않다면, 내부 절연체로는 외부의 단락을 막을 수 없습니다. 그 부분은 고객의 책임입니다.
마모와 손상의 현실
공장에서 결함을 검사하는 것은 좋지만, 시간의 흐름을 막을 수는 없습니다. 수천 시간 동안 사용된 후에는 열 산화로 인해 외부 코팅이 손상될 수 있습니다. 이는 어쩔 수 없는 현상입니다. 갑작스러운 고장을 피하기 위해, 6개월마다 절연 저항 테스트를 하는 것이 좋습니다. 이는 작은 누설 문제가 큰 문제로 발전하는 것을 막는 빠른 방법입니다.