진공 챔버용 적외선 히터

왜 반도체 제조에는 진공 적외선 가열 방식을 사용하는가? 반도체의 고도화된 처리 과정을 빠르게 진행하고 싶다면, 침실 내부가 충분히 가열될 때까지 기다려야 한다는 사실이 큰 장애물이라는 것을 알게 될 것입니다. 오랫동안 우리는 강제로 공기를 가열하는 방식을 사용해 왔...