와이어퍼 얇게 만드는 가열용 적외선

웨이퍼를 얇게 만드는 과정에서는 다이가 노출되고, 열 관리는 협상의 대상이 될 수 없습니다. 포토레지스트의 성능, 산화 스트레스, 변형 등 모든 문제는 결국 온도 제어에 달려 있습니다. 0.5도라는 작은 온도 변동만으로도 필름에 스트레스가 생겨 분리가 일어날 수 있으...