저렴한 웨이퍼 건조용 램프 전구
팹에서는 단 한 번의 불량 제품만으로도 많은 양의 제품이 폐기되는 결과를 초래할 수 있습니다. 온도의 균일성, 클린룸 내의 미세먼지 양, 그리고 반복성은 보고서에 기재될 만한 지표가 아닙니다. 이러한 요소들이 바로 제품을 성공적으로 생산할 수 있는지 여부를 결정하는...
와이어퍼 얇게 만드는 가열용 적외선
웨이퍼를 얇게 만드는 과정에서는 다이가 노출되고, 열 관리는 협상의 대상이 될 수 없습니다. 포토레지스트의 성능, 산화 스트레스, 변형 등 모든 문제는 결국 온도 제어에 달려 있습니다. 0.5도라는 작은 온도 변동만으로도 필름에 스트레스가 생겨 분리가 일어날 수 있으...
웨이퍼 제조 라인 장비
팹 내에서 온도는 단순한 설정 값이 아니라, 매우 중요한 기준입니다. 포토레지스트를 소프트 베이크하는 과정에서 온도가 반도 정도만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 그래서 우리는 리소그래피 및 포토레지스트 처리 과정에서 요구되는 열 제어 기능을 바탕으로 적...