진공 챔버용 적외선 히터
왜 반도체 제조에는 진공 적외선 가열 방식을 사용하는가?
반도체의 고도화된 처리 과정을 빠르게 진행하고 싶다면, 침실 내부가 충분히 가열될 때까지 기다려야 한다는 사실이 큰 장애물이라는 것을 알게 될 것입니다.
오랫동안 우리는 강제로 공기를 가열하는 방식을 사용해 왔...
진공과 호환되는 적외선 히터
클래스 100 청정실을 계속해서 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 청정실이나 진공 챔버에서 작업할 때 가장 큰 문제는 ‘가스 배출’입니다.
일반적인 가열 요소들은 이러한 환경에서는 치명적인 문제를 일으킵니다. 가열될 때 휘발성 유기 화합물(VOCs)이 유출되거나...