에너지 절약형 반도체 히팅
왜 스마트 팩토리에는 열을 제어하기 위해 적외선이 필요한가?
인더스트리 4.0형 공장을 구축한다면, 열을 어떻게 처리할지 다시 고민해야 합니다.
우리가 오랫동안 사용해온 기존의 저항식 가열 방식은 너무 느립니다. 이 방식은 성가신 열 지연 현상을 가지고 있어서, 디지...
공장 건조 공정에 대한 에너지 점검
웨이퍼 건조 시 열 손실을 막는 방법
팹에서 웨이퍼를 건조할 때는 균형을 잘 맞춰야 합니다. 웨이퍼 표면의 수분을 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강한 열을 가하면 웨이퍼에 손상이 갈 수 있습니다.
대부분의 경우, 적외선 방출기를 사용합니다. 하지만 문제는 표준적인 석...
에너지 효율적인 웨이퍼 히터
장비를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열해 보세요.
일부 반도체 제조 장비들이 마치 히터처럼 작동한다는 것을 알고 있나요?
대부분의 일반적인 저항식 히터들은 효율이 매우 낮습니다. 이러한 히터들은 열을 사방으로 방출하여 전체 챔버를 따뜻하게 만듭니다. 문제는, 우리는...