화학 처리 구역에서 치유용 램프를 안전하게 보관하는 방법 솔직히 말해서, 적외선 히터를 화학 세척실 안에 넣는 것은 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 주변에는 가연성 용매와 폭발성 기체들이 있으니까요. 조금만 불꽃이 튀거나 램프의 온도가 너무 높아져도 큰 재앙이 발생...

웨이퍼의 온도를 정확하게 파악하기 스마트 팹을 구축하려면 가장 먼저 해야 할 일은 수동 샘플링을 없애는 것입니다. 수동 샘플링은 느리고 번거롭으며, 솔직히 말해서 구식 방법입니다. 10분 전의 데이터가 아닌, 실시간 데이터가 필요합니다. 바로 이때 IR 센서가 유용해...

장비를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 일부 반도체 제조 장비들이 마치 히터처럼 작동한다는 것을 알고 있나요? 대부분의 일반적인 저항식 히터들은 효율이 매우 낮습니다. 이러한 히터들은 열을 사방으로 방출하여 전체 챔버를 따뜻하게 만듭니다. 문제는, 우리는...

Fab 라인에서 SiC 웨이퍼는 온도 조절에 여유가 없다. 포토레지스트 베이크 중 2°C의 온도 변동만으로도 얼라인먼트가 틀어질 수 있으며, 램프 프로파일이 부정확하면 한 로트 전체가 손상된다. 우리는 이러한 현실에 맞춰 SiC 웨이퍼 처리용 히터 램프를 설계했다....